http://www.micro.mavt.ethz.ch/education/index.htm
Projekttyp: e-Learning
Stichwörter: Group oriented hands-on practical lab, Acquisition of cutting edge technology, Thin film processes, Super critical point drying, Submicron structures, Silicon Process Technology, Plasma assisted high aspect ratio etching, Picofarad capacitive readout, Microsystem Technology, MEMS, Highly parallel processing, Cleanroom technology

Das ?Embedded MEMS Lab? ist ein Projekt zur Entwicklung eines Praktikums in Mikrosystemtechnik (Mikro-elektro-mechanische Systeme). Damit will die Professur füro-und Nanosystemtechik ein fehlendes Angebot in dieser aufstrebenden Disziplin etablieren.
Unter fachlicher F? werden fortgeschrittene Studierende aus den Departementen Maschinenbau und Verfahrenstechnik, Physik sowie Informationstechnologie und Elektrotechnik selbst?ig ein funktionierendes mikromechanisches System samt Ausleseelektronik bauen k?n. Dies erm?cht den Studierenden, eigene Erfahrungen in einer wichtigen Zukunftstechnologie zu sammeln, welche hohe Anforderungen an interdisziplin?s und teamorientiertes Denken und Handeln stellt. Dadurch hat das Praktikum einen hohen Motivationswert. Zudem tr? es dazu bei, die ETH Z?von anderen f?en Universit?n abzuheben.

Meilensteine:
2003/02/01		Project start
2003/06/01		Festlegen des Praktikumszieles
2004/02/01		Erstellte Systeme getestet und gepr?d>
2004/03/01		Anzahl: Teilnehmer (prozesslimitiert)
2004/07/31		Praktikum 2004
2005/10/31		Project end